特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì),它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。






工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎(chǔ)化工材料,主要運(yùn)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。特種氣體是電子工業(yè),特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求。

特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場(chǎng)地需平坦,操作需謹(jǐn)慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅(jiān)固位置。特種氣體的重要性:正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大,應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類,電子特種氣體(簡稱電子特氣)是特種氣體的 一個(gè)重要分支,是超大規(guī)模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。

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